Элемент современного процессора

Вооруженным глазом #16

Фото сделано с помощью сканирующего электронного микроскопа ZEISS SUPRA
Современные процессоры содержат элементы шириной всего 14 нм. Это меньше сотни атомов кремния, выстроенных в ряд. Такие тонкие технологии позволяют уместить миллиарды транзисторов в одном маленьком устройстве. Каждая микросхема — это сложная многослойная структура на подложке из кремния. Каждый слой состоит из миниатюрных полупроводниковых транзисторов или электрических проводов, соединяющих их в определенную цепь. Также микросхема содержит слои из диэлектриков, предотвращающих замыкание проводов друг с другом. Различные слои микросхемы должны быть идеально совмещены друг с другом. Для этого на поверхности образца формируется система из маркеров, подобных тому что изображены на картинке. Это просто крест. Их можно встретить на многих микросхемах. Это своего рода ориентиры для прицеливания перед началом формирования нового слоя. Крестики бывают разных размеров. Чем точнее необходимо совместить слои, тем меньше маркер. Представленный здесь маркер был предназначен для совмещения слоев с точностью в несколько десятков нанометров.

Благодарим за предоставленный материал Саркиса Дагесяна (физический факультет МГУ, кафедра атомной физики, физики плазмы и микроэлектроники, лаборатория криоэлектроники).
Владислав Важник
Теги:

Читать еще на Чердаке: