Нанодворец

Вооруженным глазом #12

Фото сделано с помощью сканирующего электронного микроскопа ZEISS SUPRA


На снимке электронного микроскопа — результат неудачного травления образца из кремния. В микроэлектронном производстве повсеместно используют плазмохимическое травление. Выглядит этот процесс примерно так. Кремниевую подложку помещают в вакуумную камеру, в которую напускают различные газы, например, часто используют фторсодержащие SF_6 или CF_4. Сами по себе эти газы не особо реакционно способны, потому что активный фтор уже химически связан с углеродом или серой. Но если подать напряжение и зажечь разряд плазмы, то в разряде начнут образовываться ионы, в том числе ионы фтора. Ускоряемые электрическим полем, ионы будут бомбардировать подложку. Фтор — очень активный окислитель. Реагируя с кремнием, он образует газ, который откачивается из вакуумной камеры насосом.

Если нужно, в некоторых местах кремний можно защитить, прикрыв его устойчивым к травлению материалом. В данном случае слой этого защитного материала оказался слишком тонким и не выдержал плазменного процесса. Зато под тем местом где изначально был защитный слой, получился красивый кремниевый «нанодворец».

Благодарим за предоставленный материал Дмитрия Колесникова (ГАИШ МГУ, кафедра астрофизики и звездной астрономии, отдел релятивистской астрофизики) и Саркиса Дагесяна (физический факультет МГУ, кафедра атомной физики, физики плазмы и микроэлектроники, лаборатория криоэлектроники).
Владислав Важник
Теги:

Читать еще на Чердаке: